Значениями (0<<CS12)|(0<<CS11)|(1<<CS10) задаю минимально возможный делитель.
Как можно увеличить частоту импульсов в 10 раз ?

Взять кварц в 10 раз больше, иначе никак. Можно сделать программно-аппаратно, но за счет уменьшения разрядности.

А как именно ?

Задействовать режим CTC, тогда верхним пределом будет не 0xFFFF, а число в OCR1A, т.е. можно сделать в 2,4,8 и.т.д раз быстрее (на самом деле даже не обязательно в степень двойки, но так удобнее), в прерывании по совпадению с OCR1A ставить выход в 1. А регистр OCR1B использовать как величину ШИМ и в его прерывании обнулять выход.
Ну и еще в 16-й меге есть железные режимы FAST и PHASE CORRECT PWM с использованием 8,9 и 10 бит, но это намного быстрее чем в 10 раз.

Выбираем индустриальные и медицинские источники питания MEAN WELL в открытом исполнении

Использование модульных источников питания открытого типа широко распространено в современных устройствах. Присущие им компактность, гибкость в интеграции и высокая эффективность делают их отличным решением для систем промышленной автоматизации, телекоммуникационного оборудования, медицинской техники, устройств «умного дома» и прочих приложений. Рассмотрим подробнее характеристики и особенности трех самых популярных вариантов AC/DC-преобразователей MW открытого типа, подходящих для применения в промышленных устройствах - серий EPS, EPP и RPS представленных на Meanwell.market.

Подробнее>>

Если нужно сдвинуть спектр ШИМ-сигнала максимально вверх по частоте, но не хочется терять разрешение ШИМ, можно сделать программный "довесок" к ШИМ в виде сигма-дельта: viewtopic.php?p=1344737#p1344737